Förderprojekte
intelligent fluids GmbH
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Aktuelles Förderprojekt
TOMI - Phasenfluidische Toolbox für das Mikroelektronik Processing
Projektzeitraum
01.03.2020 - 30.04.2022
Fördermittelgeber
Investitionsbank Sachsen-Anhalt - Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE)
Thema
Vorhabensentwicklung eines innovativen Baukastensystems (Toolbox) für die universelle Entfernung von Prozessrückständen in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden. Ziel ist es dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligenten Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.