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Europäischer Fond für regionale Entwicklung

Aktuelles Förderprojekt

TOMI - Phasenfluidische Toolbox für das Mikroelektronik Processing

Projektzeitraum

01.03.2020 - 30.04.2022

Fördermittelgeber

Investitionsbank Sachsen-Anhalt - Europäischer Fonds für regionale Entwicklung (EFRE)

Thema

Vorhabensentwicklung eines innovativen Baukastensystems (Toolbox) für die universelle Entfernung von Prozessrückständen in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden. Ziel ist es dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligenten Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.